芯片產業(yè)鏈全線爆發(fā)，設備方向集體大漲，飛凱材料20%漲停，中微公司、晶瑞電材、江豐電子、芯源微、有研新材等漲超10%，北方華創(chuàng)續(xù)創(chuàng)歷史新高，滬硅產業(yè)漲超6%，中芯國際漲超3%，長川科技、拓荊科技、盛美上海等全面上漲。

熱門ETF方面，半導體設備ETF（561980）漲近6%，成交超1億元，顯著放量。

半導體設備ETF（561980）跟蹤的中證半導指數聚焦上游設備材料，成分股設備類公司權重占比超49%，“設備含量”遠超同類指數。

從指數走勢看，中證半導指數整體呈現較高彈性特征，截至發(fā)稿今年以來累計漲幅超51%，表現同樣優(yōu)于科創(chuàng)芯片等同類指數，年內漲幅位居芯片半導體概念指數第一。